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CTI オンボード® IS 320FX低温泵
On-Board IS 320 FXクライオポンプは、現在のイオン注入プロセスの課題に対応するために開発され、水素の抽出速度と容量を向上させるとともに、On-Board IS 320 FEクライオポンプに期待する品質、性能、信頼性のすべての利点を維持することができます。
製品の詳細
CTI On-Board® IS 320 FXクライオポンプ製品の利点：
1.イオン注入用途に特化した設計
2.ツール処理能力の最適化
3.インテリジェントな「自己調整」技術
4.低い所有コスト
5.通常運転時間の増加
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